】 Введення продукту
МАТЕРІАЛЬНІ ВЛАСТИВОСТІ
Параметр | Характеристика | Метод управління ASTM |
Тип / Допант | Р, бор N, фосфор N, сурма N, миш'як | F42 |
Орієнтації | <100>, <111> орієнтації по специфікації клієнта | F26 |
Вміст кисню | 10 19 ppmA Довільні допуски за специфікацією замовника | F121 |
Вміст вуглецю | <0,6> | F123 |
Резистентність діапазонів-Р, бор-N, фосфор-N, сурми - N, миш'як | 0,001 - 50 Ом · см | F84 |
МЕХАНІЧНІ ВЛАСТИВОСТІ
Параметр | Прем'єр | Монітор / тест A | Тест | Метод ASTM |
Діаметр | 125 ± 0,2 мм | 125 ± 0,2 мм | 125 ± 0,5 мм | F613 |
Товщина | 625 ± 20 мкм (стандарт) | 625 ± 25 мкм (стандарт) 500 ± 25 мкм 1000 ± 25 мкм | 625 ± 50 мкм (стандарт) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Лук | <30> | <30> | <50> | F657 |
Wrap | <30> | <30> | <50> | F657 |
Закріплення краю | SEMI-STD | F928 | ||
Маркування | Квартири SEMI-STD, тільки первинні SEMI-Flat, Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
ЯКІСТЬ ПОВЕРХНІ
Параметр | Прем'єр | Монітор / тест A | Тест | Метод ASTM |
Критерії передньої сторони | ||||
Стан поверхні | Хімікомеханічне полірування | Хімікомеханічне полірування | Хімікомеханічне полірування | F523 |
Шорсткість поверхні | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Забруднення, частки @> 0,3 мкм | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Туманність, ями, апельсинова кірка | Немає | Немає | Немає | F523 |
Позначки, смужки | Немає | Немає | Немає | F523 |
Критерії задньої сторони | ||||
Тріщини, воронки, марки, плями | Немає | Немає | Немає | F523 |
Стан поверхні | Каустик протравлюють | F523 | ||
】 Опис продукту
Ідеально підходить для мікрофлюїдних застосувань. Для мікроелектроніки або МЕМС-додатків, будь ласка, зв'яжіться з нами для отримання детальних характеристик.
Великий запас подвійних полірованих пластин у всіх діаметрах пластин від 100 мм до 300 мм. Якщо Ваша специфікація не доступна в нашому інвентарі, ми встановили довгострокові відносини з багатьма постачальниками, які здатні виготовляти на замовлення спеціальні пластини, які підходять до будь-яких унікальних специфікацій. Двосторонні поліровані пластини доступні в кремнії, склі та інших матеріалах, які зазвичай використовуються в напівпровідниковій промисловості.
Індивідуальні кубики та полірування також доступні відповідно до ваших вимог. Будь ласка, зв'яжіться з нами.
】 Особливості продукту
· 5 "P / N тип, полірована кремнієва пластина (25 шт.)
· Орієнтація: 125
· Стійкість: 0,1 - 40 Ом · см (може варіюватися від партії до партії)
· Товщина: 625 +/- 20м
· Оцінка Prime / Monitor / Test
Популярні Мітки: 5 дюймів (125мм) пластини, Китай, постачальники, виробники, фабрика, зроблені в Китаї
