Монокристалічна кремнієва пластина N-типу M2 оснащена квазі-квадратною 156,75 × 156,75 мм конструкції із закругленими кутами, врівноваження сумісності зі стандартними макетами модуля та оптимізованим захопленням світла. Вироблений за допомогою методу CZ та допінгу фосфору, він пропонує високу чистоту матеріалу,<100>орієнтація та низька щільність дислокації (менше або дорівнює 500 см⁻²). При провідності N-типу, широкий діапазон опору (0,2–12 Ом · см) та високий термін експлуатації меншості (більше або дорівнює 1000 мкс), він підтримує високоефективні клітинні технології, такі як TopCon та HJT. Пластина M2 залишається перевіреним та надійним форматом для стабільної продуктивності в основних програмах PV.
1. Матеріальні властивості
|
Майно |
Специфікація |
Метод огляду |
|
Метод зростання |
CZ |
|
|
Кристалічність |
Монокристалічний |
Пільгові методи травлення(ASTM F47-88) |
|
Тип провідності |
N-тип |
Napson EC-80TPN |
|
Допант |
Фосфор |
- |
|
Концентрація кисню [OI] |
Менше або дорівнює8e +17 в/см3 |
FTIR (ASTM F121-83) |
|
Концентрація вуглецю [CS] |
Менше або дорівнює5e +16 в/см3 |
FTIR (ASTM F123-91) |
|
Щільність трави (щільність дислокації) |
Менше або дорівнює500 см-2 |
Пільгові методи травлення(ASTM F47-88) |
|
Поверхнева орієнтація |
<100>± 3 градус |
Рентгенівський метод дифракції (ASTM F26-1987) |
|
Орієнтація псевдо квадратних сторін |
<010>,<001>± 3 градус |
Рентгенівський метод дифракції (ASTM F26-1987) |
2. Електричні властивості
|
Майно |
Специфікація |
Метод огляду |
|
Опір |
0,2-2,0 ω.cm 0,5-3,5 Ом.см
1,0-7,0 ω.cm
1,5-12 ω.cm
|
4-проробний опір
вимірювання
|
|
MCLT (термін експлуатації меншин) |
Більше або дорівнює 1000 мкс (опір ＞ 1,0 Ом.см) Більше або дорівнює 500 мкс (опір ＜ 1,0 Ом.см
|
Sinton BCT-400 Тимчасовий
(з рівнем ін'єкції: 5е14 см-3)
|
3. Геометрія
|
Майно |
Специфікація |
Метод огляду |
|
Геометрія |
квазійська площа
|
Верньє суппортер
|
|
Діаметр
|
210 ± 0,25 мм
|
Верньє суппортер |
|
Плоский до плоского
|
156,75 ± 0,25 мм
|
Верньє суппортер
|
|
Довжина кута
|
8,5 ± 0,5 мм
|
Квадратний/правитель широкого сидіння
|
|
Кутова
|
90 градусів ± 0,2 градусів |
Кутовий правитель
|
|
Кутова форма
|
Круглої форми
|
Візуальний огляд
|
|
Перпендикулярний
|
Менше або дорівнює 0,8 мм
|
|
|
TTV (загальна варіація товщини) |
Менше або дорівнює 27 µm |
Система перевірки вафель |
4.Поверхневі властивості
|
Майно |
Специфікація |
Метод огляду |
|
Поверхнева якість
|
Пляма, олія, подряпина, тріщина, яма, удар,
Дефект шпильки та близнюки не є
дозволений
|
Візуальний огляд
|
|
Відколювати
|
Поверхнева мікросхема заборонена;
ARRIS: Чіпи непослідовні:
Менше 10 на ARRIS, DIA менше або дорівнює 0,3 мм;
|
Правитель
|
|
Поверхнева груба
|
Поверхня площини: РА менше або дорівнює 0,6UM;
Поверхня, що перебуває на каші: РА менше або дорівнює 1,0 г.
|
Лічильник шорсткості поверхні
|
Популярні Мітки: Специфікація пластини N-Type M2 M2, Китай, постачальники, виробники, фабрика, виготовлені в Китаї
